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VOC廢氣處理技術主要包括熱破壞法、變壓吸附分離與凈化技術、吸附法和氧化處理方法等

RTO催化燃燒法

對于濃度較低的有機廢氣處理效果比較好，因此，在處理低濃度廢氣中得到了廣泛應用。

這種方法主要分為兩種，即直接火焰燃燒和催化燃燒。直接火焰燃燒對有機廢氣的熱處理效率相對較高，一般情況下可達到 99%。而催化燃燒指的是在催化床層的作用下，加快有機廢氣的化學反應速度。這種方法比直接燃燒用時更少，是高濃度、小流量有機廢氣凈化的首選技術。

活性炭吸附法

利用吸附劑（粒狀活性炭和活性炭纖維）的多孔結構，將廢氣中的VOC捕獲。將含VOC的有機廢氣通過活性炭床，其中的VOC被吸附劑吸附，廢氣得到凈化，而排入大氣。

活性炭吸附法主要用于脂肪和芳香族碳氫化合物、大部分含氯溶劑、常用醇類、部分酮類和酯類等的回收

光氧催化法

采用微波超強電磁輻射和穿透力、微波催化燃燒功能對廢氣進行微波輻射和破壞，使所有有機物廢氣的分子鏈完全打斷，裂解、改變物質結構，將高分子污染物質，裂解、分解成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等。

采用特制紫外線光管在處理裝置內產生高能C波段（253.7nm波段）紫外線，破壞、裂解有機物分子鏈，改變物質結構，將大分子物質裂解、氧化成為低分子物質或無害物質，如水和二氧化碳等。